（1） 静电控制的基本原则
① 确定静电控制级别
② 尽量减少静电荷的产生
③ 泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累
④ 保护产品不受ESD的损坏
（2） 确定静电控制的级别
① 元器件、组件和设备静电敏感度分级
1级：易遭受0-1999V静电电压损坏的
2级：易遭受2000-3999V静电电压损坏的
3级：易遭受4000-5999V静电电压损坏的
而敏感静电压大于16000V的，便不必采取防静电措施。
② 静电防护工作区的分级
A级：答应对地静电电位不超过±100V
B级：答应对地静电电位不超过±1000V
实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。
（3） 尽量减小静电荷的产生
这是控制静电三步曲的第一步，在这净化工作环境中，最好的措施：
① 尽量采用性质相似器材，减少在接触摩擦分离过程中产生静电电荷；
② 尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材，减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷；
③ 尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
（4） 泄放和中和
这是控制静电三步曲的第二步，在微电子生产的净化室中最通常的措施是接地，采用导电性或耗散性材料泄放静电荷，以及离子化消电器中和静电荷。
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